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最新消息| 潔凈室無塵室是如何定義的? | 2024-05-15 |
| 文章来源：由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.baidu.com/link?url=LnM5xuXE2foBqNn67UFq__5dtzptB7Otwti1I5re21cfxnVCUvWEnZeEUu7WGkre6rf-TI6feMFmo2Q6GVAqzV3-PwUpxYuh92n99vki1YK" 什麼是潔凈室?nn潔凈室,又稱無塵室，是一個受到高度控制的空間，旨在最大程度地減少塵埃、微生物、化學氣體和其他空氣污染物的存在，是一個對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合體，以確保MEMS器件的制造過程能夠達到所需的潔凈度標準。nn潔凈室的歷史？nn無塵室的概念最初由美國斯坦福大學的物理學家Willis Whitfield在1950年代提出。然而，最早的無塵室實際應用是在1960年前夕，由于NASA（美國國家航空航天局）和航空航天工業對潔凈環境的需求，特別是在航天器裝配和測試過程中的需求。在半導體行業，貝爾實驗室（Bell Labs）在1960年左右將首個無塵室引入半導體制造過程中。他們為了降低芯片生產過程中的缺陷率，開始采用無塵室技術。后來，其他公司如IBM、英特爾（Intel）等也緊隨其后，開始建立自己的無塵室生產線。nn后來，隨著半導體行業的迅速發展，對無塵室的需求不斷增加。在這個階段，許多半導體制造商開始在全球范圍內建立大規模的無塵室生產線，以應對日益嚴格的潔凈度要求。目前，無塵室的應用逐漸擴展到了其他高技術產業，包括醫藥、生物技術、醫療器械、光電子、食品加工等領域。nn潔凈室的標準？nn潔凈室（Clean Room）:具體的功能是控制微粒污染。Fab廠往往按照ISO 14644-1的標準建立，具體分成一級、二級、三級到九級等，等級數越低，顆粒越少。nn不同制程對應的潔凈度要求？nn在MEMS廠中，不同工藝車間對應的潔凈度等級通常根據ISO 14644標準進行分類和評估。nn光刻車間： 光刻車間通常是MEMS制造中最關鍵的一個工藝步驟，因此對潔凈度要求相對較高。一般來說，光刻車間的潔凈度等級可能達到ISO 14644-1標準中的Class 5（百級）或更高級別。nn沉積刻蝕車間： 在沉積和蝕刻工藝中，潔凈度要求相對較高，以確保沉積和蝕刻過程中不會引入外部雜質。這些車間通常符合ISO 14644-1標準中的Class 5（百級）至Class 6（千級）級別。nn清洗車間： 清洗車間用于清洗制造過程中的器件和基板，以去除殘留的雜質和化學物質。由于潔凈度要求較高，以確保清潔過程不會引入新的污染，因此清洗車間通常符合ISO 14644-1標準中的Class 5（百級）至Class 6（千級）級別。nn封裝車間： 封裝車間用于對MEMS器件進行封裝 關鍵字標籤：無塵室設備產品 |
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